高精度CNC三坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周、分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。
高精度CNC三坐标测量仪是一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器。
高精度CNC三坐标测量仪作为高精度的测量设备，其大的优点当然是精度高，高精度可以达到1微米，甚至更高。为了保证三坐标如此的高精度，高品质品牌的三坐标测量机的光栅尺的精度更是达到了纳米级别，测量的三坐标测量机使用的进口高品质光栅尺的精度就达到了微米。
高精度CNC三坐标测量仪的另一个优点就是测量的特征多，几乎所有类型的尺寸测量，三坐标测量仪都可以进行测量，通过构造特征，更是可以对平面度，圆度，同心度等等进行检测。
高精度CNC三坐标测量仪使用的测量软件pc－dmis软件，还可以导入CAD数模进行脱机检测，使三坐标测量机不止有测量特征多，还具有测量速度快，效率高等优点。
因为高精度CNC三坐标测量仪使用的是测头探针进行接触式的测量，如果工件太细小，探针无法进行探测，或者工件为软薄等材质，接触时会发生变形等等情况，都无法
使用高精度CNC三坐标测量仪进行测量。不过随着三坐标测量机的发展，这一缺点正在慢慢的被修补，目前部分三坐标厂家，已经开始推出复合式三坐标测量仪，让非接触测量和接触式测量进行结合的一种新型测量仪器。
