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日本三丰轮廓测量仪两个部分的调试

点击次数:736 更新时间:2022-03-22
日本三丰轮廓测量仪作为一台具有高性能的3D测量设备,运用了共聚焦、干涉和多焦面叠加,将三大技术集于一体,且不用任何运动部件,适合于高斜率表面、有高的垂直分辨率和短时间测量形貌特征等多种情况的使用。
  高数值孔径(0.95)和高放大倍率(150X)的物镜可用于测量局部斜率超过70°的光滑表面以及斜率高达86°的粗糙表面。也能测量从光滑到适度粗糙的表面,可在所有数值孔径下实现纳米级的垂直分辨率,还能用于测量大面积粗糙表面,适用于工具加工的应用。
  日本三丰轮廓测量仪在使用前和使用一段时间后,需要做校准和调整,分别要做两个部分的调试:
  一、调水平
  1、把40mm和20mm标准块用酒精清洗后压在一起,要求无间隙,50mm量块在下面放在载物台。
  2、打开软件点软件测量→点调水平→输入测量长度(量块的有效长度20-30之间)→点调水平,测量结束后会弹出测量结果。
  3、差值在24um以内则OK,否则调节载物台水平调节螺丝至差值在24um以内。
  二、调试压力
  1、把校正表水平放置载物台上,用载物台的台钳轻轻夹住,让探针接触校正表(位置在校正表凹点向内2-3mm),旋转驱动器上下调节手轮至计数器上Z1数据为0,(打开软件新建一个窗口看Z1数据,看软件左侧刻度)读取校正表数值。(探针下面垫布,防止探针滑落撞击载物台而损坏)
  2、校正表读数在30±5mmN以内OK,如不在则调整。
  3、调整时打开砝码下面驱动器上的盖板,松开砝码上的锁紧螺钉左右调节至校正表读数在30±5mmN以内,然后锁紧砝码上的锁紧螺钉盖上盖板。
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